作为一款全新的集成式显微镜,拥有强大的材料形貌表征能力。设备通过SEM侧向视野,,在半导体加工、薄膜材料、磁性样品等领域都具有突出的应用优势。同时,FusionScope还具有免样品转移、高清快速成像、一键完成模块导航等优势,在实测中为研究者带来了极大的便利。
基于聚焦电子束诱导沉积方法制备的具有精确纳米尺度3D几何结构的等离子体纳米结构,采用FusionScope进行了原位尺寸表征(Adv. Funct. Mater. 34, 2310110, 2023);通过低温刻蚀法制备的具有高深宽比的纳米线阵列,也采用FusionScope进行了高度、形貌、均匀性和粗糙度等方面的细致分析与总结(Appl. Phys. Rev. 11, 021211, 2024)。这些研究表明,FusionScope在材料科学研究中具有广泛的应用前景。
除此之外,FusionScope在力学测试中同样具备优秀能力的表现。通过SEM提供的视野,研究者能轻松实现对特定样品表面的力学性能测试,还可以清晰地观察探针对样品的压痕过程。无论是想要探究材料的硬度、弹性模量还是断裂韧性,能在FusionScope中得到答案!
FusionScope可以精确测量单根硅纳米柱样品的弹簧常数。设备能在SEM视野下将探针精确定位于硅纳米柱样品顶端,探针在慢慢的接触与返回过程中即可得出力位移曲线,通过探针施加的力与纳米柱位移的比值计算得到样品的弹簧常数(Microscopy Today, 17-22, 2023)。
FusionScope可以轻轻松松实现在纳米压痕实验中的力学控制,以静制动,原位视野下轻松测试,可视化呈现纳米压痕。通过设置不一样的力测试纳米压痕的效果,得到样品硬度信息。在SEM视野下测试纳米压痕的效果精确计算压痕的面积,能够尽可能的防止伪结果的影响。
FusionScope能快速对具有不规则表面的载药颗粒进行力学测试与动态测量过程。如下样品主要成分为VitaminC,通过扫描电镜可以观察到样品表面崎岖不平,粗糙度较高,在进行力学测试过程中,可以通过SEM观察到一种阶段式下针过程,从而得到分段式力学曲线,二者相辅相成,互为验证。
通过无探针悬臂梁自制球形探针,满足定制化的各种需求。无探针悬臂梁顶端蘸取SEM固化胶,通过电镜视野寻找合适的样品球并进行电子束轰击对其进行固化,以此来实现对球形末端悬臂梁的制备。探针下压并且实现对球形样品的力学性能测试,得到力距离曲线,全过程在SEM视野下可见。
论文题目:AHighlyIntegratedAFM-SEMCorrelativeAnalysisPlatform发表期刊:MicroscopyTODAYDOI:【引言】在联...